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大行程平移臺(tái)系統(tǒng)由大行程平移臺(tái)（內(nèi)部集成柔性鉸鏈、壓電陶瓷執(zhí)行機(jī)構(gòu)、應(yīng)變式傳感器）、驅(qū)動(dòng)控制電路及電源組成。

XD601系列大行程平移臺(tái)是基于壓電陶瓷執(zhí)行驅(qū)動(dòng)的，以高精度應(yīng)變計(jì)（SGS）作為傳感反饋的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z 三維的精密和快速運(yùn)動(dòng)。閉環(huán)的控制方式，確保了系統(tǒng)的線性度和重復(fù)度。

在研發(fā)設(shè)計(jì)方面，XD601采用了壓電特性更加優(yōu)異的壓電陶瓷，在相同的控制電壓下可以輸出更大的位移，同時(shí)也保證了更高的穩(wěn)定性。在結(jié)構(gòu)方面采用了全新的鈦合金材質(zhì)，不僅提高了系統(tǒng)的整體強(qiáng)度，而且提高了性能。配合全新的鉸鏈機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)更大的位移輸出，同時(shí)保證整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于航天光纖激光通信等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：XD601.XYZ

運(yùn)動(dòng)自由度：XYZ

行程范圍@120V：X130/Y130/Z250μm

行程范圍@150V：X180/Y180/Z300μm

閉環(huán)傳感器：SGS

閉分辨率：XY7nm Z10nm

承載能力：0.2 kg

壓電控制器

系統(tǒng)中的另一組成部分為驅(qū)動(dòng)大行程平臺(tái)的壓電控制器，配套的E70.D3S系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電控制器。該控制器采用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI 調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：E70.D3S

通道數(shù)：3

模擬輸入：0~10V

輸出電壓：0~120/150V

平均電流：70mA

放大器帶寬：10kHz

傳感器類型：SGS

通信接口：RS-232/422

重 量：1.2kg

供電電壓：24V DC1.5A(36W)