P77.D9壓電式移相器
P77系列壓電移相器是專為光學檢測移相應用而設計，行程范圍可達 50µm，負載能力可高達10kg。P77.D9為P77系列中的一款，它的中心通孔為φ140mm，移相行程可達32μm，分辨率達0.5nm，適用于各種光學鏡片、鏡頭等測量的臥式激光干涉儀，臥式承載達5kg。
芯明天壓電移相器以定制設計為主，依據客戶的設備應用，量身定制。
特點
• 行程范圍：0~16/32μm
• 通孔直徑：Φ140mm
• 臥式承載：5kg
• 可定制
應用
• 顯微成像
• 表面檢測
• 移相/干涉/計量
• 精密定位
• 移相器
• 光學捕獲
10V步進電壓與位移曲線
應用示圖
P77.D9壓電移相器是專為臥式激光干涉儀而設計，帶載大口徑鏡架等，亞納米級步進移相，為光學檢測設備提供高精密的核心組件，顯著提高光學檢測的精度。
技術參數
運動自由度：Z軸
標稱行程范圍（0~120V）：12.8或25.6μm
行程范圍（0~150V）：16或32μm
通孔尺寸：φ140mm
外形尺寸：210×210×56mm
分辨率：0.5nm
俯仰/偏航/滾動：<15μm
空載諧振頻率：200Hz
臥式承載能力：5kg
靜電容量：14.4或28.8μF
材質：鋼、鋁
重量：4.2kg
工作溫度范圍：-20~80℃
控制：1或2路控制
連接器：LEMO
出線長：1.5m
芯明天其他壓電移相器
