P77系列壓電式移相器
P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，與光學平面檢測儀相匹配。
特點
· 一維 Z 向運動
· 分辨率可達0.5nm
· 通孔尺寸為Ø160mm
· 行程范圍20μm
· 大承載10kg
承載能力
P77.D4 的承載能力高達10kg。
多點位移測量
出廠前，對多個點進行位移測量，保證運動的直線度。
步進曲線
開環(huán)曲線
技術(shù)參數(shù)
以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得
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